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瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

簡要描述:瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
滿足超高真空要求

瀏覽次數:2444

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

適用于最小氣流的高精度計量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。該系列閥門采用全金屬設計,是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計量要求的理想選擇。

59.0 系列的特殊控制功能確保可重復的精確氣流設置,增強了過程控制能力。其還能在整個使用壽命內提供可靠的密封關閉,不會出現任何密封疲勞風險。

此外,59.0 系列采用全金屬設計(高級不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封),因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

59.0 系列已經安裝在數百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應用中可變泄漏閥的標準解決方案。

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內聯閥,帶手動驅動器,或帶配有步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據烘烤過程中的情況,可以在烘烤過程中取下驅動器。標準法蘭為 CF-R,固定到位。

隔膜采用“硬對硬"密封技術,閥門在整個使用壽命內可進行 40 萬次控制循環和 1 萬次密封關閉循環,無需任何維護,其可作為零部件使用,并且易于更換。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點


特點:

  • 適用于最小氣流的高精度氣體計量

  • 精確可重復的氣流設置

  • 可靠的持續密封

  • 耐腐蝕和腐蝕性氣體


優勢:

  • 在極小氣流下可實現最佳壓力控制

  • 工藝可控性增強

  • 正常運行時間長

  • 瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

技術數據
尺寸

DN 16 (?")
驅動器
手動
方向盤
 
帶步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器
閥體材料

不銹鋼
標準法蘭

CF-R
密封技術

隔膜
泄漏率
閥體
< 1 × 10-10 mbar ls-1
 
閥座
< 1 × 10-10 mbar ls-1
壓力范圍

超高真空至 2bar(絕對壓強)
壓差打開時≤ 10 bar
死區
角閥:
閥座側
側端口
2.7 cm3
1.1 cm3
 
內聯閥:
閥座側
側端口
0.98 cm3
1.01 cm3
首維護前開關次數

20 000
烘烤溫度
閥體
≤ 300 °C
 
手動驅動器
≤ 300 °C 
 
帶步進電機的控制器
≤ 50 °C 
加熱和冷卻速率

≤ 60 °C h-1
材料
閥體
AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
 
隔膜
AISI 301 (1.4310), 鍍金
安裝位置

任何位置
閥門位置指示

視覺(比例)
流導(分子流)

0.05 ls-1
可調節氣流

1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量
帶手動驅動器
0.94 kg / 2.07 lbs
 
帶受控步進電機
2.5 kg / 5.5 lbs


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